HIWIN上银RWSE晶圆机器人的操作使用

末端效应器的选择与安装

类型选择：RWSE 晶圆机器人的末端效应器有真空吸取型、夹持型和翻转型。真空吸取型适用于 2-12 英寸晶圆的移载；

夹持型如 F148 适用于 8 英寸晶圆边缘夹持，F275 适用于 12 英寸 Frame FC 夹取式；翻转型可在移载过程中实现晶圆正反面翻转。

安装要点：根据晶圆尺寸和工艺要求选择合适的末端效应器，安装时需确保连接牢固，气管或电线连接正确，避免影响机器人的运动精度和抓取稳定性。

扫片传感器的使用

功能介绍：RW 系列手臂支持扫片功能，选配扫片传感器（Mapping Sensor）后，可在取放片前检测晶舟盒内晶圆或基板是否有叠片、斜片等状态，为机器人的取放动作提供数据支持，提高取放片的成功率和安全性。

操作流程：在机器人的参数设置中启用扫片传感器功能，根据晶舟盒的尺寸和晶圆排列方式进行传感器的校准和参数调整，确保传感器能够准确检测晶圆状态。

安全操作注意事项

环境要求：机器人应在温度为 + 5℃至 + 40℃，无易燃、腐蚀性气体和液体，无大量灰尘和振动的环境中使用。

运行检查：在启动机器人前，需检查电机连接是否正确，冷却系统和主开关是否正常工作，确保机器人运动范围内无障碍物。运行过程中，如发现异常气味、噪音、烟雾、温度升高等情况，应立即停止机器人运行。

电气安全：在接通电源前，至少将一根地线连接到所有电气单元，避免触电危险。在机器人工作或停止后不久，不要触摸电机部件，以防烫伤。