日本 KASUGA 春日 KS - 3101 静电真空表面电位传感器使用方法（可直接复制）

一、设备组件准备与安装

1. 核心组件核对：确认 KS - 3101 传感器本体、真空专用电缆 KS - 3101 - C01、控制盒 KS - 3101 - B05、控制器 KSD - 0110 及配套接线，检查传感器外观无破损、电缆无开裂，确保真空适配部件完好。

2. 真空侧安装：将传感器固定在真空腔体内，按量程调整安装距离（HIGH 量程 ±20.0kV 对应 100mm，LOW 量程 ±2000V 对应 10mm），传感器探头正对被测表面且垂直，固定牢固避免位移；接入真空电缆并密封接口，防止真空泄漏。

3. 大气侧接线：通过控制盒连接传感器与 KSD - 0110 控制器，接好电源线与信号输出线，控制器接通电源前确认接线无短路，完成后进行绝缘检查。

4. 真空度适配：确认真空腔真空度在 10⁻¹-10⁻⁵Pa（推荐）或 10⁵Pa（大气压），非推荐真空度可能影响测量精度，且不可用于超范围真空环境。

二、开机与参数设置

1. 启动控制器：打开 KSD - 0110 电源，进入传感器设置界面，选择 KS - 3101 型号并匹配通道，开启传感器故障诊断功能，指示灯正常则进入下一步。

2. 量程与模式选择：根据被测电位，在控制器上切换 HIGH/LOW 量程，设置连续测量或数据记录模式，按需开启报警阈值（可设 2 级），确保参数与测量场景匹配。

3. 零点校准：在无带电体的真空环境中，执行控制器零点校准，消除环境干扰，校准完成后保存参数，作为测量基准。

三、测量操作与数据记录

1. 开始测量：真空腔达到目标真空度并稳定后，启动控制器测量键，实时读取电位数值，峰值模式可锁定zui大电位，连续模式可观察动态变化。

2. 数据记录：插入 SD 卡（需另购），设置记录间隔，控制器自动存储数据，可通过控制器导出数据至电脑，用于分析与追溯。

3. 异常处理：传感器故障时，控制器会显示报警信息并触发外部输出，立即停止测量，检查传感器与接线，排除故障后重新校准再使用。

四、关机与维护

1. 关机流程：先停止测量并保存数据，关闭传感器通道，再关闭控制器电源，最后断开真空腔真空，待气压恢复常压后再拆卸传感器。

2. 日常维护：定期清洁传感器探头，避免油污、粉尘附着；检查电缆接口密封性，定期校验传感器精度（推荐每年 1 次）；闲置时将传感器置于干燥环境（0-40℃，湿度≤65% RH 无结露），避免受潮。

3. 注意事项：严禁在真空腔未泄压时拆卸传感器；避免传感器受剧烈冲击；不可用于防爆危险区，仅适配常规真空与大气环境。

五、关键注意要点

1. 测量距离与量程严格匹配，偏差会导致测量误差超标。

2. 真空接口密封到位，防止泄漏影响测量与腔体安全。

3. 传感器故障时不可强制测量，需排查后校准，保障数据可靠。