在半导体、光伏等高纯工艺场景中，供气压力波动易导致流量失控，影响制程稳定性与产品良率。Fujikin（富士金）LGFM8000压力式流量控制器，依托FCSP8000系列核心技术，以压力式控制原理突破传统局限，实现高纯气体精准稳控，适配各类严苛工业高纯气体传输需求。
一、核心特点，筑牢气体稳控防线
1. 压力波动免疫：采用临界流孔前压力控制原理，不受供气压力大幅波动影响，流量输出始终稳定，che底解决传统流量控制器易受压力干扰的行业痛点。
2. 高精度与低量程稳定：低流量段（1%～10% F.S.）精度达±0.1% F.S.，全量程精度±1.0% S.P.，能精准捕捉微量气体变化，适配精密制程的流量控制需求。
3. 超高速响应：响应时间≤0.5秒（100%→4%阶跃），调节平稳无超调，可快速适配工艺工况切换，保障制程连续性。
4. 高纯适配与高可靠性：1级禁油处理，金属密封设计，外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s；材质采用SUS316L EP/MP，适配高纯气体，使用寿命长。
二、核心技术参数，精准适配需求
流量量程：10 SCCM～2.4 SLM（N₂换算）；控制范围：2%～100% F.S.；接口规格：1/4" UJR高纯接头，兼容6.35mm管路。
供气压力：250～898.7 kPaG（0.25～0.9 MPa）；zui大耐压：0.89 MPaG；精度：±1.0% S.P.（10%～100%设定）、±0.1% F.S.（1%～10%设定）。
工作温度：0～50℃（精度保证15～35℃）；供电：+11～+25 VDC；通信：支持DeviceNet、EtherCAT、RS485，适配主流工控系统。
三、注意事项，保障设备长效运行
1. 安装无姿态限制，可任意角度安装，但需确保气流稳定，避免管路脉动干扰流量控制精度。
2. 接线前确认供电电压为+11～+25 VDC，严格区分供电、通信、气路接口，避免接反或错接导致设备损坏。
3. 设备需安装在洁净、干燥、通风处，远离粉尘、腐蚀性气体，适配1级洁净环境，避免污染气路。
4. 维护时需先切断气源与电源，定期检查气路密封性与接口松动情况；校准需使用标准高纯气体，确保校准精度。
LGFM8000凭借稳控、精准、高纯的核心优势，广泛应用于半导体刻蚀、光伏PECVD、实验室精密供气等场景，为高纯工艺气体传输提供可靠解决方案，助力提升制程稳定性与产品良率。
更新时间：2026-03-16
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