高压高纯双在线｜富士金 FPR-PNSD 隔膜阀，重新定义半导体流体控制

更新时间：2026-03-28

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Fujikin 富士金 FPR-PNSD-721-6.35-316LP 是 PURE® 系列气动直动式金属隔膜阀，专为半导体、光伏等行业的超高纯、高压、腐蚀性流体控制设计，以零泄漏、高洁净、长寿命、高压适配为核心优势，适配 6.35mm（1/4"）管路，是精密流体系统的关键控制部件。

一、型号与规格解析

1. 型号含义

FPR：PURE® 系列，定位超高纯、金属隔膜型阀门
PNSD：气动直动式、高压型、金属隔膜结构
721：阀体结构代码，适配 UJR 接头与高压工况
6.35：公称通径 6.35mm（1/4"），管路外径规格
316LP：阀体为 SUS316L 二次熔炼 + EP 电解抛光，超高洁净级材质

2. 核心技术参数

驱动方式：气动直动式（常闭型 NC），气源压力 0.4~0.7MPa
公称通径：6.35mm（1/4"），两端 UJR 母头连接
zui大工作压力：20.5MPa（205bar），高压工况稳定适配
工作温度：-10℃~+40℃，适配常规高纯工艺环境
泄漏等级：氦检 < 5×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，实现内外零泄漏
Cv 值：0.1，小流量精密控制，流量稳定
阀体材质：SUS316LP（316L 二次熔炼 + EP 电解抛光），禁油洁净处理
隔膜材质：Elgiloy 镍钴合金双层金属隔膜，高耐久、抗腐蚀
阀座材质：PCTFE（聚三氟氯乙烯），耐化学腐蚀、密封稳定
外形尺寸：总长 52mm，总高 87.1mm，紧凑轻量化
重量：约 380g，便于管路集成与安装
洁净等级：特级无油，Class 1 洁净室适用，无颗粒污染风险

二、核心技术特点

1. 金属隔膜直动结构，零泄漏高密封

采用直接式金属隔膜结构，隔膜将流体腔与执行器wan全隔离，无填料密封，杜绝介质外漏与交叉污染；双层 Elgiloy 合金隔膜，抗疲劳、耐折，气密性优异，满足半导体特气、高纯化学品的零泄漏要求。

2. 316LP 超高洁净材质，适配严苛工艺

阀体采用 SUS316L 二次熔炼材质，经 EP 电解抛光与特级禁油处理，表面粗糙度低、无杂质残留，wu死角流道设计，避免流体滞留与颗粒产生，符合 SEMI、ISO Class 3 洁净标准，适配晶圆制程、刻蚀、CVD 等超高纯工艺。

3. 高压适配与长寿命设计

zui大工作压力达 20.5MPa，满足高压特气与液态化学品输送需求；金属隔膜寿命超3000 万次循环，远高于普通橡胶隔膜，适配频繁开关的自动化产线，降低维护频率与成本。

4. 气动直动驱动，响应快速精准

气动直动式执行器，开关响应时间 < 100ms，控制精准；常闭型设计，失气自动关闭，防止介质逆流，提升系统安全性；执行器结构紧凑，与阀体一体化设计，整体体积小，节省安装空间。

5. 标准化连接，安装维护便捷

两端采用 UJR 6.35mm 母头 + 金属垫片密封，连接可靠、拆装方便，适配 VCR 等高纯管路标准；无复杂易损件，日常仅需清洁流道与检查隔膜，维护成本低，适合批量产线应用。

三、适用场景与优势

1. 核心应用行业

半导体制造：晶圆清洗、刻蚀、CVD、扩散等工序的高纯气体（SiH₄、NF₃、HCl）、腐蚀性化学品输送控制
光伏 / 面板：FPD、太阳能电池制程的特气（硅烷）、蚀刻液（HF、HNO₃）精密控制
生物医药：无菌流体、高纯试剂、缓冲液的无颗粒、无泄漏输送
特种化工：高压、腐蚀性气体 / 液体（如氯气、氨气、强酸强碱）的安全截断与控制

2. 场景适配优势

小通径 + 高压组合，适配精密小流量高压管路，流量控制稳定
超高洁净 + 零泄漏，满足半导体等行业对流体纯度的严苛要求
长寿命 + 低维护，适配 24 小时连续运行的自动化产线，提升设备稼动率
紧凑轻量化，适合设备内部管路集成，优化空间布局

四、安装与使用注意事项

安装前需清洁管路，确保无杂质、无油污，匹配阀门特级无油洁净等级
连接时使用专用金属垫片，均匀拧紧接头，避免密封面损伤导致泄漏
气源需过滤干燥，压力控制在 0.4~0.7MPa，防止执行器损坏
介质温度与压力需在额定范围内，严禁超温超压使用
定期检查隔膜状态，出现泄漏或流量异常时及时更换隔膜
阀门应垂直或水平安装，避免倾斜导致密封受力不均

五、总结

Fujikin 富士金 FPR-PNSD-721-6.35-316LP 气动高压隔膜阀，以金属隔膜零泄漏、316LP 超高洁净、20.5MPa 高压适配、3000 万次长寿命为核心技术亮点，精准匹配半导体、光伏等行业的精密流体控制需求，是高压、高纯、腐蚀性流体管路的理想控制部件，为gao端制造工艺的稳定性与可靠性提供保障。