135-13548603853
产品简介
中村：Tanaka田中科学在线超微量露点水分仪日本田中科学（BallWave）中端在线超微量露点 / 水分仪，主打ppb 级高精度、1 秒极速响应、石英球 SAW 传感器，适配半导体、锂电、高纯气体行业。
产品分类
中村：Tanaka田中科学在线超微量露点水分仪
日本田中科学（BallWave）中端在线超微量露点 / 水分仪，主打ppb 级高精度、1 秒极速响应、石英球 SAW 传感器，适配半导体、锂电、高纯气体行业。
中村：Tanaka田中科学在线超微量露点水分仪
超高灵敏度，超痕量检测
露点测量范围 ‑90℃～‑20℃（0.1 ppmv～数千 ppmv），可精准测十亿分之一 ppb 级气体微量水分，满足高纯气体、电子特气严苛管控。
1 秒极速响应，实时监控
水分波动1 秒内出结果，无滞后，适合产线实时闭环控制，快速捕捉泄漏、水分突升异常。
球型 SAW 石英传感器，耐用抗腐
采用 3.3mm 直径压电水晶球 SAW 传感器，耐腐蚀、抗污染、寿命长，不易被酸性 / 腐蚀性气体损坏，维护成本低。
无需背景气体校准
可兼容空气、N₂、O₂、Ar、He、H₂、CO₂、CH₄等 13 种常用工业气体，气体组分波动时不用重新标定，直接使用。
传感器 / 主机可分离式设计
探头小巧，可就近安装在管路、洁净室、设备腔体；主机远离测点，布局灵活，适配狭小空间。
在线连续监测，稳定性强
专为 24 小时连续在线运行设计，漂移小、长期稳定性好，适合锂电、半导体、光伏工艺气体管控。
支持设备集成
可定制为嵌入式机型，对接自动化产线、PLC 系统，用于纯化器、晶圆制程、电池注气系统内置监测。
操作简洁，数据可追溯
支持多单位显示（露点℃、ppmv、ppb），具备数据存储、报警、通讯输出，方便品质管控与记录。
半导体高纯气体、电子特气水分监控
锂电池 / 二次电池制造环境、保护气微量水分检测
工业气体、天然气、特种气体出厂质检
真空系统、纯化设备、干燥设备在线监测
当前位置：
上一个：
返回列表
工控产品类
