HIWIN上银晶圆装卸机Load Port的操作使用

准备工作

检查电源和气源：确保电源供应为 DC 24V±3%，电流最大 5A，气压在 0.5~0.7MPa，真空度在 - 0.05~-0.07MPa。

连接通讯线：通过 RS232 通讯线将 Load Port 与上位控制器（如 IPC/PC）连接好。

载具放置与识别

搬运载具：使用 OHT（轨道自动搬运车）或人工将晶圆载具（如 8 英寸 Open Cassette、12 英寸 FOUP/FOSB 或 12 英寸 Metal Carrier 等）搬运至 Load Port 的装载平台。

载具识别：Load Port 具备载具辨识 Info pad A/B/C/D 感测器，可自动识别载具类型和相关信息，同时通过载具在席（presence）检知功能和载具放置（place）检知功能，确认载具是否正确放置。

载具对接与固定

对接操作：Load Port 的对接平台会自动与载具进行对接，对接行程为 70mm，对接位置为 173mm（FDP 至 BOLTS 面），未对接位置为 243mm（FDP 至 BOLTS 面）。

压固载具：对接完成后，Load Port 的压固（clamp）功能会启动，将载具牢固固定，防止在后续操作中发生移动。

晶圆检测

开启检测：确认载具固定好后，Load Port 的检测机构会沿竖直方向运动，对盒内晶圆进行扫描检测，如晶圓凸片（wafer protrusion）檢知功能、玻璃晶圓凸片（glass wafer protrusion）檢知功能等，以确保晶圆的状态正常。

晶圆搬运

自动化搬运：在检测完成后，由晶圆机器人或传片机械手（WTW）根据控制系统的指令，从 Load Port 上的载具中取出晶圆，搬运至工艺加工区进行处理，完成工艺后再将晶圆搬运回载具。

载具解锁与撤离

解锁载具：当晶圆搬运完成后，Load Port 会解除对载具的压固，即执行解锁操作。

撤离载具：最后使用 OHT 或人工将载具从 Load Port 上搬离，完成一次完整的操作流程。

安全操作注意事项

紧急停止：若在操作过程中发现异常情况，应立即按下 Load Port 上的紧急停止（E-stop）按钮，停止设备运行，避免发生安全事故或设备损坏。

状态监控：操作人员应随时关注 Load Port 上的 LED 状态指示灯，以及上位控制器上的相关信息，及时了解设备的运行状态和故障报警等情况。