HIWIN上银晶圆寻边器的操作使用

准备工作

电源连接：确保电源供应为 DC24V/2A，将电源线正确连接到寻边器。

气管连接：连接负压气管，确保真空度在 - 50~-70kPa 范围内，以满足寻边器的真空需求。

通讯连接：通过 RS232 传输线将寻边器与上位控制器（如 IPC/PC）连接，以便进行数据传输和控制。

安装与固定

根据实际使用需求，将寻边器安装在合适的位置，确保安装牢固，且不会影响其运动和检测功能。寻边器两侧有内凹设计，可方便、稳定地抓握与搬运。

参数设置

晶圆参数设置：根据待检测晶圆的直径（100~300mm）、材质（透明、半透明或不透明）等特性，在寻边器的控制系统中设置相应的参数。

检测参数设置：设置检测速度、检测精度等参数。通常，寻边器可在 4.9 秒内完成晶圆寻边、晶圆中心与角度等补正动作，定位重复精度可达 ±0.025mm 或 ±0.1mm，可根据具体工艺要求进行调整。

寻边操作

手动寻边（如有此功能）：可通过手动操作按钮或控制器，使寻边器的传感器接近晶圆，手动确定晶圆的边缘位置，作为参考点或用于初步校准。

自动寻边：启动自动寻边程序，寻边器会利用智能光透型激光传感器自动扫描晶圆的轮廓，检测晶圆的边缘位置、中心位置和角度等信息。在检测过程中，可通过外部的状态指示灯实时了解寻边器的工作状态。

数据处理与校准

寻边器完成检测后，会将检测到的数据传输给上位控制器，控制器根据这些数据计算出晶圆的中心位置、角度偏差等信息。

根据计算结果，可对晶圆进行校准或调整，例如通过机器人手臂将晶圆移动到正确的位置，或对后续加工设备的参数进行调整，以确保加工的准确性。

紧急情况处理

若在操作过程中出现异常情况，可按下寻边器或控制系统上的紧急停止按钮（E-stop），立即停止寻边器的运行，以避免发生安全事故或损坏设备。