HIWIN上银EFEM220-D13晶圆移载系统的操作使用

准备工作

电源连接：确保电源为 1Phase, AC200~220V, 50/60Hz, 20A。

气源连接：连接好气源，保证气压稳定，以满足系统中相关气动部件的运行需求。

通讯设置：根据系统要求，设置好 RS-232 或 Ethernet 通讯参数，确保 EFEM220-D13 与上位控制器（如 IPC/PC）以及其他相关设备之间能够正常通讯。

模块检查：检查系统各模块是否正常，如晶圆机器人、Load Port、寻边器等，确保安装牢固。

载具放置与识别

放置载具：使用合适的搬运工具，将晶圆载具（如 Open Cassette 等）放置到 Load Port 上。

载具识别：Load Port 的相关传感器会自动识别载具类型和信息，同时确认载具是否正确放置。EFEM220-D13 的感测器会实时监测载具的状态。

晶圆检测与校准

晶圆检测：如果系统配置了晶圆寻边器等检测设备，可启动检测程序，对载具中的晶圆进行检测，如检测晶圆的凸片情况、中心位置和角度等信息。

数据校准：根据检测结果，系统会自动计算晶圆的偏差值，并对晶圆机器人的取片位置和角度进行校准，以确保后续取片的准确性。

晶圆搬运操作

设置搬运路径：通过 GUI 界面软件，设置晶圆的搬运路径和目标位置，例如从 Load Port 搬运到指定的工艺设备端口。

启动搬运程序：确认设置无误后，启动晶圆搬运程序，晶圆机器人（型号为 RWDE-B-Z340-02R185）会根据指令从载具中取出晶圆，并按照设定的路径搬运到目标位置，取放距离为 255mm。

晶圆放置：机器人将晶圆准确放置到目标位置后，会根据系统指令释放晶圆，完成一次搬运操作。

系统监控与维护

状态监控：在整个操作过程中，操作人员可通过 GUI 界面软件实时监控系统的运行状态，包括各模块的工作状态、传感器的检测信息、晶圆的搬运进度等。

故障处理：若系统出现故障，会及时发出报警信号，操作人员应根据报警提示信息，查找故障原因，并采取相应的排除措施。

日常维护：定期对 EFEM220-D13 进行清洁、保养和校准，以确保系统的性能稳定和精度准确，例如定期检查直线导轨、滚珠丝杠等关键部件的磨损情况，并及时进行更换或维护。