技术文章_第(23)页－湖南中村贸易有限公司

HIWIN上银直线系滚珠花键-法兰型(FS型)的操作使用
2025-10-22 一、操作使用前的准备型号与适配确认核对FS型花键的具体参数，包括花键轴直径、法兰规格（如法兰外径、螺栓孔数量及间距）、额定负载等，确保与设备的安装空间、动力需求匹配。检查花键轴、法兰式花键套、配套支撑轴承、防尘件是否齐全，无运输损伤（如法兰面变形、花键轴表面划痕）。工具与辅料准备准备专用工具，包括扭矩扳手（匹配法兰螺栓规格）、千分表（检测同轴度）、水平仪、定心工装，避免使用普通工具导致安装偏差。准备HIWIN指定润滑剂，优先选择锂基润滑脂（如HG-761），禁止混合不同类型油...
HIWIN上银直线系滚珠花键-圆筒型(RS型)的操作使用
2025-10-22 一、操作使用前的准备型号确认与适配检查核对产品型号（如RS65、RS80等），确认花键轴直径、导程、额定负载等参数，是否与设备的动力需求、安装空间匹配。检查配套部件，如花键套、支撑轴承、防尘罩（若有）是否齐全，且无运输损坏（如花键轴表面划伤、滚珠脱落）。工具与辅料准备准备高精度安装工具，如扭矩扳手、千分表（或百分表）、水平仪、定心夹具，避免使用普通扳手导致安装偏差。准备适配的润滑剂，推荐使用HIWIN指定的锂基润滑脂（如HG-761），禁止混用不同类型油脂。二、核心安装操作步...
HIWIN上银EFEM320-D06晶圆移载的操作使用
2025-10-21 前期准备设备检查：检查设备外观是否完好，各部件连接是否牢固，电源、气源是否正常且符合设备要求。确保设备内部及周围环境的洁净度，因为EFEM320-D06系统通常要求在洁净环境下运行，以防止晶圆受到污染。晶圆及周边配置：确认待处理晶圆为8英寸或12英寸规格。根据生产需求，可选配WaferIDReader、RFID、寻边器等周边模块，并确保其正确安装和配置，以便系统能准确识别和处理晶圆。操作流程系统启动：接通电源，按照操作界面的提示进行系统启动和初始化操作。等待系统自检完成，自检...
HIWIN上银EFEM320-D03晶圆移载的操作使用
2025-10-21 前期准备设备检查：检查设备外观是否有损坏，各部件连接是否牢固。确保电源、气源供应正常且符合设备要求，同时确认设备的洁净度达到ISOClass1标准。检查系统的各种传感器是否正常工作，可通过简单的测试来验证，如轻轻触碰传感器，观察系统是否有相应的反应。晶圆及周边配置：确认待处理晶圆为8英寸或12英寸规格。根据生产需求，选配WaferIDReader、RFID、寻边器等周边模块，并确保其正确安装和配置。操作流程系统启动：接通设备电源，按照操作界面的提示进行系统启动初始化操作。等待...
HIWIN上银EFEM320-D02晶圆移载系统的操作使用
2025-10-21 前期准备设备检查：检查设备外观是否有损坏，各部件连接是否牢固，电源、气源是否正常且符合要求。确保设备的洁净度符合标准，如有必要，对设备内部进行清洁。晶圆及周边配置：确认待处理晶圆为8英寸或12英寸规格。根据需要选配WaferIDReader、RFID、寻边器等周边模块，并确保其正确安装和配置。操作流程系统启动：接通电源，按照操作界面提示进行系统启动和初始化，等待自检完成，使设备处于待机状态。晶圆装载：将装有晶圆的晶舟盒放置在装载端口，设备自动定位和固定晶舟盒。通过控制系统选择...
HIWIN上银EFEM320-D01晶圆移载系统的操作使用
2025-10-21 前期准备设备检查：在使用前，需检查设备外观是否有损坏，各部件连接是否牢固。确保设备的电源、气源等供应正常，且符合设备的工作要求。晶圆选择：根据实际生产需求，选择合适尺寸的晶圆，EFEM320-D01通常适用8英寸和12英寸的晶圆。周边模块配置：可根据需要选配WaferIDReader、RFID、寻边器等周边模块，并确保这些模块已正确安装和配置，能够正常工作。操作流程系统启动：接通设备电源，按照设备操作界面的提示进行系统启动初始化操作，等待系统自检完成，确保设备处于正常待机状态...
HIWIN上银EFEM220-D13晶圆移载系统的操作使用
2025-10-21 准备工作电源连接：确保电源为1Phase,AC200~220V,50/60Hz,20A。气源连接：连接好气源，保证气压稳定，以满足系统中相关气动部件的运行需求。通讯设置：根据系统要求，设置好RS-232或Ethernet通讯参数，确保EFEM220-D13与上位控制器（如IPC/PC）以及其他相关设备之间能够正常通讯。模块检查：检查系统各模块是否正常，如晶圆机器人、LoadPort、寻边器等，确保安装牢固。载具放置与识别放置载具：使用合适的搬运工具，将晶圆载具（如OpenCa...
HIWIN上银晶圆寻边器的操作使用
2025-10-20 准备工作电源连接：确保电源供应为DC24V/2A，将电源线正确连接到寻边器。气管连接：连接负压气管，确保真空度在-50~-70kPa范围内，以满足寻边器的真空需求。通讯连接：通过RS232传输线将寻边器与上位控制器（如IPC/PC）连接，以便进行数据传输和控制。安装与固定根据实际使用需求，将寻边器安装在合适的位置，确保安装牢固，且不会影响其运动和检测功能。寻边器两侧有内凹设计，可方便、稳定地抓握与搬运。参数设置晶圆参数设置：根据待检测晶圆的直径（100~300mm）、材质（透...

共 888 条记录，当前 23 / 111 页首页上一页下一页末页跳转到第页