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HIWIN上银EFEM320-D03晶圆移载的操作使用
2025-10-21 前期准备设备检查：检查设备外观是否有损坏，各部件连接是否牢固。确保电源、气源供应正常且符合设备要求，同时确认设备的洁净度达到ISOClass1标准。检查系统的各种传感器是否正常工作，可通过简单的测试来验证，如轻轻触碰传感器，观察系统是否有相应的反应。晶圆及周边配置：确认待处理晶圆为8英寸或12英寸规格。根据生产需求，选配WaferIDReader、RFID、寻边器等周边模块，并确保其正确安装和配置。操作流程系统启动：接通设备电源，按照操作界面的提示进行系统启动初始化操作。等待...
HIWIN上银EFEM320-D02晶圆移载系统的操作使用
2025-10-21 前期准备设备检查：检查设备外观是否有损坏，各部件连接是否牢固，电源、气源是否正常且符合要求。确保设备的洁净度符合标准，如有必要，对设备内部进行清洁。晶圆及周边配置：确认待处理晶圆为8英寸或12英寸规格。根据需要选配WaferIDReader、RFID、寻边器等周边模块，并确保其正确安装和配置。操作流程系统启动：接通电源，按照操作界面提示进行系统启动和初始化，等待自检完成，使设备处于待机状态。晶圆装载：将装有晶圆的晶舟盒放置在装载端口，设备自动定位和固定晶舟盒。通过控制系统选择...
HIWIN上银EFEM320-D01晶圆移载系统的操作使用
2025-10-21 前期准备设备检查：在使用前，需检查设备外观是否有损坏，各部件连接是否牢固。确保设备的电源、气源等供应正常，且符合设备的工作要求。晶圆选择：根据实际生产需求，选择合适尺寸的晶圆，EFEM320-D01通常适用8英寸和12英寸的晶圆。周边模块配置：可根据需要选配WaferIDReader、RFID、寻边器等周边模块，并确保这些模块已正确安装和配置，能够正常工作。操作流程系统启动：接通设备电源，按照设备操作界面的提示进行系统启动初始化操作，等待系统自检完成，确保设备处于正常待机状态...
HIWIN上银EFEM220-D13晶圆移载系统的操作使用
2025-10-21 准备工作电源连接：确保电源为1Phase,AC200~220V,50/60Hz,20A。气源连接：连接好气源，保证气压稳定，以满足系统中相关气动部件的运行需求。通讯设置：根据系统要求，设置好RS-232或Ethernet通讯参数，确保EFEM220-D13与上位控制器（如IPC/PC）以及其他相关设备之间能够正常通讯。模块检查：检查系统各模块是否正常，如晶圆机器人、LoadPort、寻边器等，确保安装牢固。载具放置与识别放置载具：使用合适的搬运工具，将晶圆载具（如OpenCa...
HIWIN上银晶圆寻边器的操作使用
2025-10-20 准备工作电源连接：确保电源供应为DC24V/2A，将电源线正确连接到寻边器。气管连接：连接负压气管，确保真空度在-50~-70kPa范围内，以满足寻边器的真空需求。通讯连接：通过RS232传输线将寻边器与上位控制器（如IPC/PC）连接，以便进行数据传输和控制。安装与固定根据实际使用需求，将寻边器安装在合适的位置，确保安装牢固，且不会影响其运动和检测功能。寻边器两侧有内凹设计，可方便、稳定地抓握与搬运。参数设置晶圆参数设置：根据待检测晶圆的直径（100~300mm）、材质（透...
HIWIN上银晶圆装卸机Load Port的操作使用
2025-10-20 准备工作检查电源和气源：确保电源供应为DC24V±3%，电流最大5A，气压在0.5~0.7MPa，真空度在-0.05~-0.07MPa。连接通讯线：通过RS232通讯线将LoadPort与上位控制器（如IPC/PC）连接好。载具放置与识别搬运载具：使用OHT（轨道自动搬运车）或人工将晶圆载具（如8英寸OpenCassette、12英寸FOUP/FOSB或12英寸MetalCarrier等）搬运至LoadPort的装载平台。载具识别：LoadPort具备载具辨识I...
HIWIN上银RWDE晶圆机器人的操作使用
2025-10-20 硬件连接与系统初始化机械与电气连接：根据实际生产布局，将机器人固定在稳定的基座上，确保安装牢固。按照电气原理图连接电源、电机、编码器、传感器等线缆，注意区分动力线和信号线，避免信号干扰。系统上电与自检：先接通控制电源，再开启主电源，等待机器人控制系统完成自检。自检过程中，观察操作面板或教導器上的指示灯状态，若有异常指示灯亮起，需根据说明书排查故障。末端效应器安装与调试选择与安装：根据晶圆的尺寸、材质和工艺要求，选择合适的末端效应器，如真空吸取型、夹持型或翻转型。按照安装手册，...
HIWIN上银RWSE晶圆机器人的操作使用
2025-10-20 末端效应器的选择与安装类型选择：RWSE晶圆机器人的末端效应器有真空吸取型、夹持型和翻转型。真空吸取型适用于2-12英寸晶圆的移载；夹持型如F148适用于8英寸晶圆边缘夹持，F275适用于12英寸FrameFC夹取式；翻转型可在移载过程中实现晶圆正反面翻转。安装要点：根据晶圆尺寸和工艺要求选择合适的末端效应器，安装时需确保连接牢固，气管或电线连接正确，避免影响机器人的运动精度和抓取稳定性。扫片传感器的使用功能介绍：RW系列手臂支持扫片功能，选配扫片传感器（MappingSen...

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