HIWIN上银晶圆装卸机Load Port的操作使用
2025-10-20
准备工作检查电源和气源:确保电源供应为DC24V±3%,电流最大5A,气压在0.5~0.7MPa,真空度在-0.05~-0.07MPa。连接通讯线:通过RS232通讯线将LoadPort与上位控制器(如IPC/PC)连接好。载具放置与识别搬运载具:使用OHT(轨道自动搬运车)或人工将晶圆载具(如8英寸OpenCassette、12英寸FOUP/FOSB或12英寸MetalCarrier等)搬运至LoadPort的装载平台。载具识别:LoadPort具备载具辨识I...