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产品简介
中村供应：Fujikin富士金气动高压隔膜阀Fujikin FPR-PNSD-721-6.35-316LP 是高压高纯气动金属隔膜阀，核心为316LP EP + 金属膜片 + MVCR 金属密封，耐压20.5MPa、零死角、全禁油，专为半导体 / 光伏 / 锂电的高压高纯气体控制设计。
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中村供应：Fujikin富士金气动高压隔膜阀
Fujikin FPR-PNSD-721-6.35-316LP 是高压高纯气动金属隔膜阀，核心为316LP EP + 金属膜片 + MVCR 金属密封，耐压20.5MPa、零死角、全禁油，专为半导体 / 光伏 / 锂电的高压高纯气体控制设计。
中村供应：Fujikin富士金气动高压隔膜阀
型号：FPR-PNSD-721-6.35-316LP（气动高压隔膜阀）
通径：6.35mm（1/4" OD，半导体标准）
耐压：zui高 20.5MPa（205 bar）
温度：-10℃ ～ +40℃
Cv 值：0.1
材质：阀体 SUS316LP（二次熔炼），内部 EP 电解抛光
密封：金属膜片（Elgiloy）+ MVCR 金属垫片密封
驱动：气动（常闭 NC），气源 0.4～0.6MPa
清洁度：特级无油 / 全禁油，无颗粒污染
重量：约 380g
金属膜片结构：无弹性体、wu死角、零死体积，气密性与耐腐蚀性很强
MVCR 金属面密封：无泄漏、耐高温高压、适配高纯 / 腐蚀性气体
紧凑wu死角流道：减少残留、易吹扫，适合超高纯工艺
气动执行器：响应快、寿命长，适配自动化控制
阀体：SUS316LP（低 C 高 Mo，抗晶间腐蚀）
膜片：镍钴合金（Elgiloy），高疲劳、高密封
阀座：PCTFE（可选 PI/PFA），耐化学、低析出
表面：内部 EP 电解抛光，Ra≤0.2μm，低吸附、易清洁
高压高纯兼容：20.5MPa 耐压，满足半导体 / 锂电高压特气需求
零泄漏与长寿命：金属密封 + 金属膜片，无老化、无泄漏、寿命百万次级
ji致洁净：全禁油、EP 抛光、wu死角，适配超高纯气体系统
稳定可靠：无弹性体，抗腐蚀、抗污染、抗振动
安装便捷：MVCR 快装，适配 6.35mm 管路，紧凑省空间
半导体：刻蚀、沉积、扩散的高压高纯特气控制
光伏 / 锂电：硅烷、磷烷、氨气等易燃 / 有毒 / 腐蚀性气体输送
实验室 / 分析：高纯气体、标准气、腐蚀性介质的精密控制
化工 / 电子：高压惰性气体、特种气体的安全切断与调节
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