产品简介

USHIO牛尾模块化紫外线积算光量计
USHIO 牛尾 UNIMETER UIT-250 模块化紫外线积算光量计是牛尾原厂 UNIMETER 系列便携式紫外检测仪器，适配光刻机、UV 固化、紫外清洗杀菌全类紫外制程，支持更换探头覆盖 5 种主流紫外波长，可同步采集照度、峰值积算光量与温度，自带数据存储、模拟 / 串口数据输出。

USHIO牛尾模块化紫外线积算光量计

USHIO 牛尾 UNIMETER UIT-250 模块化紫外线积算光量计是牛尾原厂 UNIMETER 系列便携式紫外检测仪器，适配光刻机、UV 固化、紫外清洗杀菌全类紫外制程，支持更换探头覆盖 5 种主流紫外波长，可同步采集照度、峰值积算光量与温度，自带数据存储、模拟 / 串口数据输出，机身小巧便携、测量精度稳定，是半导体、3C 自动化产线管控紫外能量的标准配套检测设备。

USHIO牛尾模块化紫外线积算光量计

一、模块化可换探头，多波段一机通用

1. 搭配 UVD 系列可替换感光探头，覆盖 172nm 深紫外、254nm UVC、313nm UVB、365nm UVA、405nm UV-LED 五大常用紫外波段，兼顾光刻曝光、UV 胶固化、表面清洗、紫外杀菌多类工艺检测。

2. 分体探头标配 2 米连接线，可定制加长线缆，能伸入高温机台、狭小设备内部测量；一体式直连探头适合现场手持快速抽检，两种形态灵活切换。

3. 探头内置热电偶测温模块，紫外光照强度、基板温度同步采集，无需额外测温设备，完整还原制程真实工况参数。

二、多参数同步采集，满足工艺全维度管控

1. 实时辐照度、峰值最大照度实时显示；

2. 积算光量精准统计总曝光 / 固化能量，适配 MA-10B 光刻机光刻能量校验、UV 固化炉制程管控；

3. 支持连续照度曲线记录、定点光斑单点测量、温度同步采集；

4. 自动 / 手动三档量程切换，测量区间宽广：照度 0~9999.9mW/cm²、积算光量 0~99999mJ/cm²，高低能量场景均可适配。

三、原厂校准高精度测量，数据稳定可溯源

1. 整机出厂原厂标准光源校正，测量精度 ±5%，传感器线性误差≤±1%，检测重复性优异，可用于产线光源衰减判定、工艺文件存档校验。

2. φ10mm 标准均匀感光面，光斑响应均匀无局部偏差，专门适配光刻机台面单点曝光能量检测，匹配 USHIO 全系 UV 光源检测标准。

四、完整数据存储与外部输出功能

1. 机身内置存储单元，最长连续记录 4 分钟照度动态变化曲线，可追溯光源启停、光照波动全过程；

2. 0~1V 模拟电压输出接口，可外接记录仪实现产线长时间不间断在线监测；

3. RS 串口通讯输出，4800bps 标准速率对接电脑，批量导出测量数据，方便制作工艺报表、设备点检档案。

五、轻量化双供电设计，工业现场操作便捷

1. 整机仅 250g，尺寸 75×160×15mm 小型手持机身，可直接放置流水线、光刻机台面使用，移动检测；

2. 双供电方案：3 节 AAA 干电池满足外出离线抽检，选配 AC 电源适配器可长期固定在线监测；自带 5 分钟自动省电关机，也可手动关闭省电模式持续测量；

3. 简洁实体操作按键搭配分段 LCD 大屏，照度、积算光量数值分屏清晰显示，车间现场强光下读数直观。

六、行业适配优势，成套设备匹配度高