USHIO牛尾RtoR投影式光刻机
是牛尾原厂卷对卷连续投影曝光设备，适配柔性薄膜、FPC软板、带状基材各类连续卷料微纳光刻制程，采用无接触全域投影曝光与卷料连续输送架构，支持卷材动态对位、匀速走料、稳定曝光成型，可适配微细线路、功能图形、精密镀层图案的连续化加工，光路输出均匀、图案成型稳定、制程重复性良好，是柔性电子量产制程中标准化光刻配套设备，适配卷料试样研发与规模化连续生产。
USHIO牛尾RtoR投影式光刻机
一、RtoR卷对卷连续制程，适配柔性基材量产
设备采用专属卷对卷连续作业架构，区别于传统单张式曝光设备，可实现放卷、对位、曝光、收卷一体化连续运行，适配长条状柔性薄膜、FPC软板、带状基材不间断加工。设备搭载适配卷料工况的张力控制系统，可平稳管控基材输送张力，缓解柔性材料拉伸、松弛、褶皱等问题，保障卷材高速走料过程平稳，适配柔性电子批量连续生产节奏。
二、低扭曲投影光学系统，图案成型品相稳定
搭载牛尾自研低扭曲大面积投影光学镜头与高均匀性照射系统，拥有充足焦深范围，可适配柔性基材轻微形变、平整度偏差工况。光学成像畸变控制优异，画面覆盖均匀，可稳定复刻细密线路与微纳图形，边缘成像清晰规整。全域曝光能量分布均衡，可减少局部曝光差异带来的显影不均、线宽偏移等问题，维持批次加工品质稳定。
三、动态自动对位功能，走料定位精准
内置高清视觉对位识别算法，适配卷料动态行进状态下的实时纠偏，可跟随卷材输送节奏完成基准定位、偏差检测、自动补偿。针对卷料连续输送产生的微量偏移、累积误差可实时修正，保障每段曝光图形对位一致，有效降低对位偏差引发的不良问题，适配高密度线路、精密图形的连续曝光需求。
四、无接触曝光工艺，保护柔性基材
采用掩膜与基材分离的投影曝光方式，全程无接触作业，不会对轻薄、易刮伤、易形变的柔性卷材造成挤压、摩擦、压痕等损伤，同时可减少掩膜粉尘粘连、磨损问题，延长掩膜使用寿命。洁净无接触制程可规避二次污染，适配柔性精密器件的高品质加工要求。
五、宽域工艺适配，多类感光材料兼容
设备光谱与能量输出可适配常规光刻胶、干膜、感光涂层等多类感光材料，兼容不同胶厚与图形精度的曝光需求。可覆盖柔性线路图形、光学功能薄膜图案、精密镀层结构、微纳纹理等多种制程场景，既可满足实验室柔性材料工艺研发打样，也可适配产线常态化连续量产。
六、稳定UV光源输出，能量可控可追溯
搭载牛尾原厂高输出UV灯管，光源衰减平缓、发光均匀性稳定，长时间连续运行能量波动小，可维持稳定的曝光基准。设备支持曝光能量、曝光时长参数可调，可根据不同卷材材质、胶层特性匹配对应制程参数，搭配标准化能量检测体系，工艺数据可留存、可追溯，便于产线点检与品质管控。
七、一体化集成结构，适配产线自动化对接
整机采用集成式自动化机身布局，放卷、曝光、收卷、纠偏、张力控制模块协同联动，工序衔接顺畅，减少人工干预。设备运行震动幅度小、走料启停平顺，长时间连续作业精度衰减幅度小，故障率低、运维便捷，可适配车间昼夜不间断量产工况，也可与前后道涂胶、显影、蚀刻设备联动组网。
八、行业适配优势，柔性制程匹配度高
广泛适配FPC柔性线路板、光学功能薄膜、柔性传感器件、薄膜开关、光电显示柔性元件等领域的图案光刻制程。依托原厂成熟光学与卷料控制技术，设备工艺兼容性良好，可满足柔性电子行业连续化、标准化的生产需求，是柔性微纳光刻量产的常用配套设备。
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