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产品简介
日本KASUGA春日静电真空表面电位传感器日本 KASUGA 春日 KS - 3101 是真空兼容型振荡式表面电位传感器，核心适配半导体、真空镀膜、液晶面板等真空工况的非接触式静电监测。
产品分类
日本KASUGA春日静电真空表面电位传感器
日本 KASUGA 春日 KS - 3101 是真空兼容型振荡式表面电位传感器，核心适配半导体、真空镀膜、液晶面板等真空工况的非接触式静电监测。
日本KASUGA春日静电真空表面电位传感器
一：真空与常压双工况适配：推荐使用真空度 10⁵Pa（常压）及 10⁻¹～10⁻⁵Pa，能在真空腔体与大气环境中稳定测量，适配真空产线的静电监控需求，如晶圆传输、真空蒸镀等场景。
二：双量程切换与精准测量：高量程 0~±20.0kV（测量距离 100mm），低量程 0~±2000V（测量距离 10mm），通过开关切换适配不同电位场景；测量精度在 ±10% 以内，采用振荡式感应检出，非接触测量避免损伤被测物。
三：模块化组件易部署：标配真空电缆 KS - 3101 - C01（1m，可延长）与控制箱 KS - 3101 - B05（带 5m 大气侧电缆），主机不含电缆与控制盒约 130g，体积小，适配真空腔体狭小安装空间，布线灵活。
四：故障报警与信号适配：具备传感器故障诊断功能，故障时通过 LED 显示并输出外部信号；需搭配控制箱与适配控制器（如 KSD - 0110），可输出模拟信号对接数据采集与控制系统，实现报警联动。
五：稳定的工业环境适配：工作温度 0-40℃，湿度 65% RH 以下且无结露，长期运行稳定性强，维护便捷，适配真空与工业常温常压的多场景静电监测需求。
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