产品简介

中村供应：Fujikin富士金气动隔膜阀
这是一款高耐久、高温型、气动直动式金属隔膜阀，专为半导体、光伏、面板等超高纯工艺设计，主打长寿命与高温稳定性。

中村供应：Fujikin富士金气动隔膜阀

这是一款高耐久、高温型、气动直动式金属隔膜阀，专为半导体、光伏、面板等超高纯工艺设计，主打长寿命与高温稳定性。

中村供应：Fujikin富士金气动隔膜阀

一、型号完整解析

• FPR：PURE® 系列（超高纯、金属隔膜）

• N：高耐久型（High‑durability）

• H：高温型（High‑temperature）

• D：气动直动式（Direct‑acting pneumatic）

• 71：阀体结构代码（UJR/UPG 接头）

• 6.35：公称通径（1/4"，6.35 mm）

• 2：两端均为 UJR 母头 连接

• PA：执行器材质为铝合金（Pneumatic Actuator）

二、核心技术参数（精准版）

1. 流体与压力

• zui高使用压力：1.0 MPa（10 bar）

• 操作温度范围：‑10℃ ～ +150℃

• Cv 值：0.8（流量系数）

• 驱动压力：0.34 ～ 0.69 MPa（3.4 ～ 6.9 bar）

• 泄漏等级：外部 / 阀座泄漏均 < 5×10⁻¹⁰ Pa·m³/s（氦检）

2. 材质与连接

• 阀体：SUS316L（EP 电解抛光，标准）

• 隔膜：金属隔膜（高耐久，3000 万次以上寿命）

• 执行器：铝合金（PA）

• 连接方式：两端 UJR 母头（6.35 mm）

• 执行器接口：Rc1/8（内螺纹）

3. 性能与寿命

• 动作方式：常闭型（NC，失气关闭）

• 寿命：3000 万次以上（200℃ 工况）

• 防护：适合 Class 1 洁净室环境

三、核心特点

1. 高耐久 + 高温双优

   金属隔膜设计，在 150℃ 下仍可实现 3000 万次以上开关，远超普通隔膜阀。

2. 超高纯无泄漏

   EP 级表面处理 + 金属密封，满足半导体、光伏等行业对颗粒与杂质的严苛要求。

3. 直动式响应快

   气动直动结构，开关速度快，适合频繁动作的工艺控制。

4. UJR 快接，安装便捷

   两端 UJR 母头，兼容标准高纯管路，现场安装与维护高效。

四、典型应用场景

• 半导体：晶圆制程、刻蚀、CVD、扩散等高纯气体 / 化学品输送

• 光伏 / 面板：FPD、太阳能电池制程的特气与清洗液控制

• 生物医药：无菌、无颗粒的高纯流体管路

• 其他：超高纯实验室、特种气体输送系统

五、选型与替换要点

• 替换核对：必须匹配 通径（6.35 mm）、连接（UJR 母头）、温度（150℃）、驱动（气动常闭）。

• 同系列替代：

• 常温高耐久：FPR‑ND‑71‑6.35‑2‑PA（‑10～80℃）

• 更高温：FPR‑NHD‑71‑6.35‑2‑PA#A（可达 200℃）

• 维护：定期检查隔膜状态；长期停用需保持干燥洁净环境。