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中村供应：Fujikin富士金氮气流量控制器

产品简介

中村供应：Fujikin富士金氮气流量控制器
FCST1030LC-4J2-F10L-N2 属于富士金 FCS-T1000L 系列热式质量流量控制器，专门用于氮气（N₂）高精度流量控制，主要应用在半导体、电子、光伏、实验室等对气体纯度、流量稳定性要求J高的高纯工况。

产品型号：FCST1030LC-4J2-F10L-N2
更新时间：2026-03-16
厂商性质：经销商
访问量：14
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中村供应：Fujikin富士金氮气流量控制器

FCST1030LC-4J2-F10L-N2 属于富士金 FCS-T1000L 系列热式质量流量控制器，专门用于氮气（N₂）高精度流量控制，主要应用在半导体、电子、光伏、实验室等对气体纯度、流量稳定性要求Ji高的高纯工况。

中村供应：Fujikin富士金氮气流量控制器

一、核心参数

适用气体为氮气，满量程流量 10 SLM，控制范围是量程的 2%～100%。
流量精度为 ±1% FS，在 15～35℃ 环境下可保证精度，重复性 ±0.2% FS。
响应速度快，响应时间 ≤1 秒，调节平稳无超调。
zui大使用压力 0.4 MPa（表压），工作温度范围 5～50℃。
接口形式为 1/4 英寸 UJR 快插接头，密封材质采用 FKM，整机满足 1 级禁油 超高纯洁净标准。
供电为 ±15 VDC，采用模拟量 0～5 VDC 输入输出控制，自带常闭型控制阀。

二、核心特点

  1. 高精度、高重复、高稳定
    采用热式质量流量测量原理，不受使用压力、温度波动影响，流量控制精准，长期运行一致性好，适合对工艺气体要求严苛的半导体、光伏制程。
  2. 响应快、控制平稳
    响应时间小于 1 秒，内置优化 PID 算法，流量调节快速、稳定、无过冲，可满足频繁切换、高精度控气的工况。
  3. 超高纯洁净设计
    整机 1 级禁油处理，内部流道洁净无杂质，适配高纯氮气、特种气体系统，不会对工艺气体造成污染。
  4. 集成度高、安装方便
    采用标准 1/4 UJR 高纯接头，安装、拆卸、管路对接简单，适合设备集成与集中式气路控制。
  5. 通用性强、适配工业控制系统
    标准模拟量控制信号，可直接与 PLC、工控机、设备主机连接，控制简单、兼容性强，适合自动化产线使用。
  6. 结构可靠、寿命长
    阀体与流路部件采用高纯耐腐蚀材质，密封件耐用性强，适合长期连续工作，故障率低、维护量小。

三、典型应用场景

  • 半导体设备：CVD、刻蚀、扩散、离子注入等工艺的高纯氮气控制

  • 光伏与面板制造：工艺腔体吹扫、保护气、载气流量控制

  • 电子行业：SMT、焊接、封装的氮气保护气氛控制

  • 实验室、分析仪器：气相色谱、质谱、精密实验用氮气流量控制

  • 各类高纯气路系统：精密稳压、稳流、定量供气



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