产品简介

中村供应：Fujikin富士压力式流量控制器
LGFM8000 是富士金 FCS® 系列的压力式流量控制器（FCSP8000 系列），专为半导体、光伏等高纯工艺的高精度、抗压力波动流量控制设计。

中村供应：Fujikin富士压力式流量控制器

LGFM8000 是富士金 FCS® 系列的压力式流量控制器（FCSP8000 系列），专为半导体、光伏等高纯工艺的高精度、抗压力波动流量控制设计。

中村供应：Fujikin富士压力式流量控制器

一、型号与定位

• 型号：LGFM8000（属 FCSP8000 系列）

• 类型：压力式流量控制器（FCS®），非传统热式 MFC

• 原理：通过控制临界流孔前压力实现流量稳定，不受供气压力波动影响

• 适用：高纯气体（N₂、Ar、O₂、特殊气体等）、半导体刻蚀 / 沉积、光伏 PECVD 等

二、核心参数（标准型）

• 流量量程：10 SCCM～2.4 SLM（N₂ 换算）

• 控制范围：2%～100% F.S.

• 流量精度：±1.0% S.P.（10%～100% 设定）；±0.1% F.S.（1%～10% 设定）

• 响应时间：≤0.5 秒（100%→4% 阶跃）

• 供气压力：250～898.7 kPaG（0.25～0.9 MPa）

• Zui大耐压：0.89 MPaG

• 工作温度：0～50℃（精度保证：15～35℃）

• 接口：1/4" UJR 高纯接头（兼容 6.35mm 管路）

• 材质：SUS316L EP/MP、镍钴合金；密封：金属密封

• 洁净度：1 级禁油、超高纯

• 供电：+11～+25 VDC；通信：DeviceNet、EtherCAT、RS485

三、核心特点

1. 压力波动免疫（PI 功能）

   供气压力大幅波动时，流量仍保持稳定，che底解决传统 MFC 易受压力干扰的问题。
2. 超高速响应

   响应 ≤0.5 秒，调节无超调，适配频繁切换、快速稳定的制程需求。
3. 超高精度与低量程稳定性

   低流量段（1%～10% F.S.）精度达 ±0.1% F.S.，适合微量、精密气体控制。
4. 多气体 / 多量程（MGMR）

   内置流量系数，可快速切换气体与量程，减少备品、提升产线柔性。
5. 流量自诊断

   内置诊断功能，实时监测流量状态，提前预警异常，提升设备可靠性。
6. 安装无姿态限制

   任意角度安装不影响精度，简化设备集成与布局。
7. 超高纯与低泄漏

   金属密封、禁油处理，外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，适配最严苛高纯工艺。

四、典型应用

• 半导体：刻蚀、CVD、ALD、离子注入、溅射的高纯气体控制

• 光伏：PECVD、PVD、扩散、退火工艺的载气 / 保护气控制

• 面板：OLED、LCD 制程的精密气体流量控制

• 实验室：气相色谱、质谱、材料合成的高精度供气