产品简介

日本KASUGA春日微波-等离子体-静电消除系统
KASUGA 春日 MPNS - 01 是一款基于微波等离子体技术的真空环境专用静电消除系统，核心优势为高真空下稳定除电、非接触式大面积覆盖、无气流依赖与低污染，适配半导体、液晶面板、薄膜等真空制程的静电管控。

日本KASUGA春日微波-等离子体-静电消除系统

KASUGA 春日 MPNS - 01 是一款基于微波等离子体技术的真空环境专用静电消除系统，核心优势为高真空下稳定除电、非接触式大面积覆盖、无气流依赖与低污染，适配半导体、液晶面板、薄膜等真空制程的静电管控。

日本KASUGA春日微波-等离子体-静电消除系统

一、核心技术与除电性能特点

1.真空适配与微波等离子生成：源自与 JAXA 联合研发的离子发动机技术，突破传统离子器在真空环境中因气体稀薄无法生成足量离子的瓶颈，可在 10⁻³～10⁻⁷Pa 高真空条件下稳定产生等离子体，解决真空制程中静电导致的工件吸附、放电损伤等问题，这是其最核心的差异化能力。采用微波激励等离子体，无需依赖压缩空气输送离子，避免气流带来的颗粒污染与压力波动，适配对洁净度要求ji高的真空工艺。

高2.效覆盖与快速除电：除电范围广，无障碍物时最远可覆盖 2m 距离，能满足大面积真空腔体内的均匀除电需求；即便薄膜等工件以 1000m/min 的高速输送，仍可实现有效除电，适配高速真空生产流程。离子分布均匀，除电后离子平衡度优异，可避免局部静电残留，降低工件因静电导致的不良率。

3.低污染与高可靠性：无臭氧、无电极针磨损碎屑等二次污染，契合半导体、光学元件等精密制程的洁净要求；微波等离子体生成模块稳定性高，无易损耗的放电电极，大幅减少维护频率与更换成本，适配长时间连续真空作业。

二、系统架构与使用便利性

1.模块化集成与安装灵活：系统由微波电源、等离子体发生单元、控制模块等组成，可根据真空腔体尺寸与布局灵活安装，适配不同规格的真空设备，无需对原有腔体进行大幅改造。配备完善的状态监测功能，可实时反馈等离子体生成状态、真空适配参数等，便于操作人员及时掌握系统运行情况，快速排查异常。

1.非接触与低干扰：采用非接触式除电方式，不与工件直接接触，避免划伤、污染等风险，适配脆弱、高精度工件的真空处理。微波等离子体的能量输出稳定且可控，不会对真空腔内的工艺参数（如温度、压力）造成显著干扰，兼容蒸发、溅射、沉积等常见真空制程。

2.能耗与兼容性：整套系统能耗适配工业真空设备的功率配置，运行时不会产生大幅能耗波动；可与真空腔体的控制系统联动，实现制程同步除电，无需额外人工干预，提升生产自动化水平。

三、适配场景与差异化优势