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FUJI富士超级计量泵-标准规格

产品简介

FUJI富士超级计量泵-标准规格
是富士原厂自研三柱塞无脉动精密定量输送设备,适配光刻胶、电解液、反应试剂、功能浆料各类高精度流体定量制程,采用六段凸轮三联柱塞驱动与机械强制回程架构,支持高压稳定供液、全程无脉动输送、微米级精准计量成型,可适配微量配比、连续流合成、精密涂布、微量加注的标准化加工,流量输出线性稳定、配比成型一致性佳、制程重复精度优异,是半导体、锂电、精细化工量产制程中标准化流体

产品型号:HYM-03
更新时间:2026-07-06
厂商性质:经销商
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FUJI富士超级计量泵-标准规格

是富士原厂自研三柱塞无脉动精密定量输送设备,适配光刻胶、电解液、反应试剂、功能浆料各类高精度流体定量制程,采用六段凸轮三联柱塞驱动与机械强制回程架构,支持高压稳定供液、全程无脉动输送、微米级精准计量成型,可适配微量配比、连续流合成、精密涂布、微量加注的标准化加工,流量输出线性稳定、配比成型一致性佳、制程重复精度优异,是半导体、锂电、精细化工量产制程中标准化流体


FUJI富士超级计量泵-标准规格


一、全流量梯度系列架构,覆盖研发到量产全工况

设备划分 HYM 微量实验室级、HYSA 中小流量工艺级、HYSD 大流量工业级三大标准化机型,相较于传统单规格计量泵设备,可适配微量打样、中试验证、大批量量产全流程运行需求,覆盖 15.3mL/min~117.8L/min 完整流量区间。设备搭载专属柱塞规格匹配系统,可根据介质粘度、输送压力灵活切换柱塞尺寸,改善高粘度浆料吸空、低流量配比偏移、高压管路流量衰减等常见问题,适配各行业不同产能节奏的连续流体输送需求。

二、六段凸轮三联柱塞系统,低脉动连续输送

搭载富士成熟分段式三重凸轮驱动机构与时序交错柱塞结构,具备稳定流量叠加区间,可适配管路压力波动、介质粘度变化等复杂工况。流体输送脉动值控制≤0.5%,无需外置缓冲罐即可平稳供液,可满足微量配比、薄膜均匀涂布、高压连续反应工艺使用需求,流体输出平稳、气泡抑制效果良好,配比、膜厚成型规整统一。全域流量线性表现均衡,可降低脉动冲击带来的涂层厚薄不均、反应配比偏差、产品良率波动等问题,保障批次加工品质稳定可控。

三、机械强制回程柱塞结构,适配高粘度介质稳定输送

内置一体化凸轮跟随式柱塞回程机构,无需依赖介质背压完成柱塞复位,适配低液位、易挥发、高粘度、微量含固浆料工况。可有效规避连续输送过程中容易出现的吸料不足、流量衰减、气蚀等现象,保障高低粘度介质全程稳定吸入排出,减少因进料异常引发的计量偏差问题,适配光刻胶、导电浆料、高粘度树脂等精密流体高压输送场景。

四、多材质模块化泵头方案,适配高纯无离子污染制程

泵头采用快拆模块化设计,可灵活切换多类接液材质适配不同介质工况:标准 SUS316L 不锈钢适配通用化工试剂;哈氏合金、钛合金适配强酸、含氯强腐蚀介质;PEEK/PTFE 全无金属泵头适配半导体、锂电、医药高纯工况,有效规避金属离子析出污染问题。模块化拆装结构无明显介质滞留死角,换料清洗便捷,洁净介质适配方案可减少杂质二次污染,适配精密电子、医药活性物料的高品质加工要求。

五、宽域介质与工况适配,兼容多类流体物料

设备压力、温度、粘度适配区间宽泛,介质粘度适配 1~20000mPa・s,标准介质温度覆盖 -30℃~120℃,选配恒温夹套可拓展至 200℃高温工况,可按需选配98MPa高压规格。可兼容光刻胶、电解液、催化试剂、树脂、乳化液、微量浆料等多类感光、腐蚀、厌氧流体,覆盖微通道连续反应、狭缝涂布、微量药剂加注、高压均质、挤出助剂配比等多种制程场景,既能满足实验室新材料配方研发打样需求,也可适配产线常态化连续量产作业。

六、伺服闭环流量输出,参数可调可追溯

搭载富士原厂伺服闭环驱动电机,流量与转速保持稳定线性对应关系,长时间连续运行流量波动幅度小,可维持平稳的定量输送基准。设备支持转速、流量、压力参数无级调节,可根据不同介质粘度、胶层厚度、工艺压力匹配适配制程参数,搭配标准化流量压力检测体系,工艺运行数据可留存、可追溯,便于产线日常点检与品质标准化管控。

七、一体化集成自动化结构,适配产线全线联动对接

整机采用集成式自动化机身布局,伺服驱动、流量调控、压力保护、温控模块协同联动,工序衔接顺畅,有效减少人工干预。设备运行震动幅度小、启停流量冲击平缓,长时间连续作业计量精度衰减幅度低,运行故障率低、维保便捷;便携式 P 型机型支持多工位移动轮换,标准落地机型可与前后道涂覆、反应、涂布设备联动组网,适配车间昼夜不间断量产工况。

八、行业适配优势,精密流体制程匹配度好

广泛适配半导体晶圆光刻胶输送、锂电池电解液配比、FPC 柔性薄膜涂布、精细化工高压连续流合成、制药 API 微量进样、光学薄膜助剂加注、高校新材料研发等领域的精密定量输送制程。依托原厂成熟凸轮流体控制与高压密封技术,设备介质兼容性、计量稳定性、连续运行耐久度表现良好,可满足高精度流体行业连续化、标准化的生产需求,是微纳精密化工量产适配性较强的主流配套计量输送设备。



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