90 系列划分两大主力材质型号，完整覆盖腐蚀药液、静电敏感晶圆两类核心产线工况。90-PTFE 纯氟素绝缘款，一体 PTFE 材质，适配 HF 、剥离液、高浓度含表面活性剂清洗液等强腐蚀槽体；90-CON 导电防静电款，碳纳米管填充导电 PCTFE/PEEK 基材，表面体电阻稳定 10⁶~10⁷Ω 标准 ESD 区间，搭配 C001 导电真空镊子形成完整静电泄放通路。吸附孔径标准化覆盖 0.3mm~3.0mm 全规格，适配微小裸芯片至 8 寸晶圆转运，适配负压区间 - 40kPa~-80kPa，可依据介质腐蚀性、工件尺寸、静电管控标准灵活选型，兼顾小型清洗槽狭小空间操作与大尺寸薄片平稳吸附需求。

二、一体成型镜面吸附端面，无痕抓取无工件损伤

产品采用整块高分子材料一体切削加工，无拼接缝隙，吸附端面经高精度镜面抛光 + 边缘圆弧倒角处理。依靠负压密封贴合工件表面完成吸附，区别于硬质金属接触式夹持，无尖锐棱角压痕、无硅片崩边风险；内部均匀导流真空腔设计，负压分布均衡，薄片高速转运不易滑落、不偏移。端面低摩擦不粘片，湿制程带水工况释放无水印残留，镜面结构不易附着硅粉、药液杂质，长期使用吸附气密性稳定，无泄压、吸力衰减问题，保障晶圆、掩膜外观良率稳定。

三、低颗粒高纯树脂材质，满足 Class100 超高无尘标准

整机无铜、铁等金属嵌件，杜绝金属离子析出污染 18.2MΩ・cm 超纯水与光刻薄膜层。PTFE、导电 PCTFE 基材本身低粉尘，镜面加工后接触摩擦极少产生微颗粒，匹配百级无尘车间管控要求；无细小藏污缝隙，可直接通入纯水反向冲洗，快速清除表面活性剂、硅渣残留，适配光刻显影、单片研磨、超声波漂洗等高洁净工序，从耗材端减少产线颗粒不良。

四、宽域药液介质适配，干湿两用长期稳定运行

全系列兼容稀释酸碱、IPA、显影液、含表面活性剂超纯水等半导体湿化学介质，可配套 DIC PF-001D 脱气模组清洗线长期使用。90-PTFE 氟素款耐强腐蚀浸泡，长期接触强酸药液不溶胀、不析出杂质；90-CON 导电款耐受常规洁净药液，兼顾防静电与基础耐化性能。适用水温 10~40℃，可长期浸泡清洗槽作业，药液不会渗透吸附通路污染后端真空泵，干式晶圆分选、湿式化学漂洗、烘干工位一套耗材通用。

五、通用 X 型模块化接口，拆装更换灵活高效

统一 X 型标准螺纹锁紧接头，可直接匹配 C001、F001 全系列真空镊子，无需专用工具即可快速拆装切换孔径规格；配套镊子 X 接头支持 ±40° 角度旋转，狭小槽体、设备内部操作。标准化通用规格可快速替换，产线切换工件尺寸无需更换整套镊子，仅更换 90 系列吸嘴即可完成适配，大幅缩短换线调试时间，适配多品类薄片批量生产场景。

六、紧凑型微型化结构，适配窄空间设备配套

整机小型化紧凑外形设计，体积小巧无空间干涉，适配 100mm 短杆真空镊子，适配小型超声波清洗机、窄槽化学蚀刻设备、实验室微型试样台。轻量化耗材设计，不会增加镊子前端负重，长时间手持操作无操作卡顿；内部气道短、管路负压损耗低，同等真空泵压力下吸附力更稳定，适配自动化设备嵌入式工位、人工手持上下料多场景。

七、耐磨长效抗浸润结构，适配量产连续作业

基材经过耐磨强化热处理，长期高频吸附摩擦不易磨损变形；致密表层抑制表面活性剂渗透浸润，不会出现膜孔堵塞、吸力下降问题。一体成型无易老化密封圈，无渗漏隐患，纯水工况使用寿命可达 12 个月，高活性剂药液工况稳定使用 6~8 个月；启停负压无瞬时冲击，长期昼夜连续量产转运不易出现吸附失效，耗材更换频次低，运维成本可控。

八、成套配套多元行业适配，精密洁净制程专用耗材

90 系列晶圆吸附芯片凭借耐腐蚀、防静电、低颗粒、无痕吸附的综合优势，可与 FM 导电 / 氟素真空镊子、FV 系列真空泵、DIC eFLOW 防静电纯水、PF-001D 脱气模组成套配套，形成完整静电管控 + 洁净药液处理 + 精密搬运一体化产线方案。广泛适配 8 寸及以内硅片、碳化硅 / 氮化镓功率芯片、光刻掩膜板、光学玻璃、超薄 PCB 精细线路、LCD/OLED 小片加工、实验室超纯水试样操作等领域，兼顾新品研发试样调试与规模化量产作业，是半导体精密湿制程通用性高性价比吸附耗材。

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